使用高精度計量泵時，應定期檢查管線與閥的連接處是否有泄漏情況產生，而閥件應每3個月清潔一次，以免造成阻塞（清潔時間可依藥劑屬性來調整，如使用高結晶度的藥劑，至少每個月需清潔一次）。當計量泵長期沒有運作時，使用前也應進行清潔處理。
一、高精度計量泵清潔步驟如下：
1、先施打清水約10分鐘，再空打約5分鐘后，確定管內的水都排出，才開始進行拆卸動作，以降低危險；
2、關閉計量泵電源，拆下所有閥件（拆卸時，仍須小心殘余的藥劑及水份，避免造成傷害或濺到電源等相關設備而造成損害）；
3、以清水沖洗閥及閥內零件；
4、檢查零件是否有缺損、變形、龜裂等狀況，若有則進行更換；
5、依原樣裝回所有閥件；
6、施打清水5分鐘進行測試（若有結晶情況，可使用結晶稀釋劑施打約10分鐘，再換成清水施打約5分鐘）；
二、高精度計量泵清潔時注意事項：
1、進行清潔動作時，請穿戴防護衣物（護目鏡、手套等）；
2、高精度計量泵的閥件皆為塑料材質，拆、裝時避免使用工具，以免造成零件損壞